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在醫(yī)療領域應用的等離子體滅菌技術于20世紀80年代始于美國，Menashi等首先提出鹵素類氣體等離子體具有很強的殺菌作用，可用于非耐熱醫(yī)療器械的快速滅菌，低溫等離子體滅菌技術1987年獲得。
美國強生公司研制的Starrad 100S過氧化氫等離子體滅菌器，于1997年經FDA批準上市。現(xiàn)已在歐美、日本等發(fā)達國家醫(yī)療機構微創(chuàng)手術中廣泛使用。
2004年開始在我國推廣宣傳，已有幾十家大型醫(yī)療單位開始使用。由此也使得等離子體低溫滅菌技術在我國醫(yī)療領域的使用得到廣泛的認同。